Isi Ihe Dị Mkpa Banyere Ngwaahịa: Okpomọkụ Laser maka Ịkpọchi Wafer nke Semiconductor

Usoro dị oke mkpa n'imepụta semiconductor, gụnyere ọrụ dopant, mweghachi lattice, na nhazi ultra-shallow junction (USJ). Ịkụnye ọkụ ọkụ nkịtị na nhazi okpomọkụ ngwa ngwa (RTP) na-enwe nnukwu mmefu ego okpomọkụ, mgbasa dopant na-achịkwa nke ọma, na enweghị otu nha zuru oke, nke na-eme ka ha ghara ịdị mma maka nodes teknụzụ dị elu na 7 nm, 5 nm, na karịa - karịsịa maka ụlọ ọrụ Gate-All-Around (GAA) na ebe nchekwa flash 3D NAND. Ịkụnye wafer dabere na laser, yana radieshon ike dị elu, nkenke oghere micron, na obere mgbasa okpomọkụ, apụtala dị ka usoro isi ọgbọ na-esote maka imezu ihe ndị a chọrọ maka nrụpụta.

Isi Ụkpụrụ nke Ịkpo Okpomọkụ Laser

Isi ọkụ laser Wave Optics nwere imewe anya pụrụ iche nke na-enye ọkụ laser dị elu, nke yiri nke okpomọkụ maka ịchacha elu wafer nke ọma. Laser akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ na-enye nnabata dị mma na ihe ndị dabere na silicon (gụnyere SiC), na-eme ka ọgwụgwọ okpomọkụ dị elu na-enweghị imebi wafer ahụ. Nke a na-eme ka oyi akwa mebiri emebi nke ion etinyere na-emegharị ma na-arụ ọrụ dopant nke ọma. Mgbe nke ahụ gasịrị, ike ikuku dị elu nke substrate na-eme ka ọ dị jụụ ngwa ngwa, nke na-eme ka nhazi lattice ahụ kpọnwụọ ma na-egbochi mgbasa dopant. Usoro a na-emepụta njikọ dị omimi nke ukwuu yana arụmọrụ dị elu na profaịlụ njikọ dị elu (na mberede).

Ịkpọchi Okpomọkụ Laser Dị Mkpa Maka Imeziwanye Mmepụta Nhazi Wafer

1. Nha nhata nke oghere osisi: Nha nhata nke ike nke ebe osisi dị larịị gafere 95% (nke a na-ahụkarị), na-ewepụ oke agbaze ma ọ bụ enweghị ike ime ka ọ dị n'ime mpaghara.
2. Ike Ịkwụsi Ike: Mgbanwe ike na-aga n'ihu na mmepụta dị n'okpuru 2%, na-eme ka o doo anya na wafer-site-wafer dị mma na nhazi otu-site-otu.
3. Nhazi nke Foto Elu: Akụkụ anya nwere ụkpụrụ PV/RMS nke nanometer nwere mgbanwe ihu ebili mmiri nke ọma, na-egbochi mmebi ebe ọkụ.
4. Omimi nke Nlekwasị Anya na Nhazi Ọwara: Omimi nke nlekwasị anya ahaziri ahazi yana nhazi nke ihe na-eme ka ọ dị n'etiti ya na-akwado nyocha zuru oke nke wafers buru ibu.
5. Ndakọrịta Ogologo Wave: Emebere ya maka eriri wave nke silicon na semiconductor ọgbọ nke atọ (dịka ọmụmaatụ, SiC, GaN) iji mee ka arụmọrụ ojiji ike dịkwuo elu.

Uru Atọ Dị Mkpa Karị Ịkpọchi Ihe Nkịtị

1. Mbelata dị mma nke mgbasa dopant - A na-ebelata mkpughe okpomọkụ na oke nanosecond-to-millisecond yana mgbasa dopant fọrọ nke nta ka ọ bụrụ efu, ikike a na-apụghị inweta site na annealing ọkụ ma ọ bụ RTP.

2. Obere mmefu okpomọkụ na obere mmebi ngwaọrụ - Naanị elu wafer na-enweta oke okpomọkụ nwa oge, nke na-ebute enweghị mgbanwe okpomọkụ nke substrate ma ọ bụ nhazi ngwaọrụ na enweghị mmebi ihu.

3. Ịdọpụ oghere nhọrọ nke ọma - Ebe ntụpọ micron a na-agbanwe agbanwe na-akwado ịdọpụ mpaghara maka njikọta 3D na ngwaọrụ ndị ejikọtara dị iche iche.

Ihe Ndị Dị Mkpa n'Ime Ngwa

Ngwa ndị a gụnyere ime ka isi mmalite/mgbapụta mmiri dị n'ime, ịrụzi ọwa, na ime ka kọntaktị ohmic dị n'ime maka usoro dị elu (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, ngwaọrụ ike SiC/GaN, SOI, na ngwaọrụ micro/nano. Ime ka laser dị n'ime na-eme ka mmepụta na arụmọrụ ngwaọrụ dịkwuo mma n'otu oge.

Ịdọ aka na laser na-agbanwe nhazi wafer site na ịdọ aka na ntị zuru ụwa ọnụ gaa na ịdọ aka na ntị mpaghara nke ọma. Teknụzụ anya ya dị ike na-akwado ọganihu na-aga n'ihu na mmụba arụmọrụ nke n'ime oghere semiconductor dị elu.

Mpempe akwụkwọ nkọwapụta ngwaahịa