Nnyocha nke oke iru ala, ịdị elu nzọụkwụ na ọkpụrụkpụ ihe nkiri dị gịrịgịrị na wafer semiconductor, anya anya ziri ezi na ihe ndị e ji kpuchie na-ekpebi mmepụta mmepụta ozugbo. Nnyocha nyocha kọntaktị ọdịnala na-akpachapụ anya nke ọma, ebe ngwa nha anya nkịtị enweghị ike inye nkenke ọkwa nano. Kedu otu esi enweta nnwale na-anaghị emebi emebi, izi ezi nano dị elu na nyocha mmepụta oke dị elu n'otu oge?
Ngwa ọhụrụ Wavelength OE nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe ọhụrụ nwere ụdị nha interferometry abụọ. Site na nchọpụta na-anaghị emetụ aka, ọ na-ekpuchi usoro ọrụ zuru oke site na nyocha na nhazi ụlọ nyocha ruo na mmepụta QC n'ịntanetị.
Ụdị Interferometry Abụọ Maka Ọdịdị Elu Nile
N'adịghị ka ngwaọrụ nha otu ụdị, sistemụ a na-ejikọta algọridim VSI (Vertical Scanning Interferometry) na PSI (Phase-Shifting Interferometry), na-emezu ihe achọrọ maka nha isi abụọ site na iji otu igwe.
| Ihe Ntụnyere | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Isi Ebe Ndị Dị Mkpa | Ebe ndị siri ike, nzọụkwụ, ala ndị na-adịghị agbanwe agbanwe na ndị dị mgbagwoju anya | Elu dị nro nke ukwuu, na-aga n'ihu ma na-enyo enyo |
| Oke Nha Nha Ogologo Okirikiri | Oke sara mbara; nwere ike ịtụ oghere miri emi na nzọụkwụ dị elu | Oke dị warara; adabaghị maka nnukwu nzọụkwụ dịpụrụ adịpụ |
| Mkpebi Okirikiri | Ọkwa Nanometer; enwere ike ịnweta sub-nanometer site na iji algọridim kachasị mma | Mkpebi kachasị elu; ike imeghachi ihe ruo na sub-nanometer ọbụna ọkwa sub-angstrom |
| Ntachi obi maka oke ike elu | Elu | Dị ala |
| Ọchịchọ nke oge | Ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ọ dịghị; mmepụta uru elu zuru oke dị | N'okpuru njehie mkpuchi nkebi nke 2π |
| Ịtụ Ọsọ | Chọrọ nyocha axial, ọ dịtụ nwayọ nwayọ | Ọsọ ọsọ n'ozuzu |
| Nguzogide Mkpọnwụ | Enwere ike ibute mkpọtụ n'oge nyocha | Mgbanwe usoro nke ọtụtụ etiti, nke na-enwe mmetụta karịa maka ịma jijiji |
| Ngwa Ndị A Na-ahụkarị | Isi ike, ogologo nzọụkwụ, obere ihe owuwu, elu igwe | Nnwale elu dị nro nke ukwuu, ọdịdị elu na ịdị larịị |
PSI (Mgbanwe Oge Interferometry): Ọ bụ ọkachamara na obere atụmatụ dị elu nano na ihe nkiri dị gịrịgịrị, na-enye mkpebi kachasị mma nke obere ihe.
Enyo ụgbọelu
Enyo Gbagọrọ Agbanwe (Egwuregwu Gbagọrọ Agbanwe)
Ihe Nlereanya Fotolithographic
Usoro nyocha VSI Vertical: Emebere ya maka ọrụ ndị nwere nnukwu ọdịiche dị elu na nzọụkwụ ndị dị ogologo; enwere ike iji nha zuru oke na-enweghị nyocha nkewa.
Usoro okirikiri obere bump na wafers e ji akwakọba eme
Ngwakọta obere bump elliptical na wafers e ji akwakọba dị elu
usoro microlens
N'ịbụ nke jikọtara ya na isi iyi ọkụ ọcha nke 450–700 nm dị mkpụmkpụ, ọ nwere ike igbochi ìhè gbapụrụ agbapụ site na ọtụtụ ntụgharị uche ma na-enye arụmọrụ siri ike megide nnyonye anya. Ejiri mkpuchi dị iche iche mee ihe, akụkụ anya a nwere obere ntụgharị uche nwere ike ịpụta ihe mgbaàmà nnyonye anya kwụsiri ike na nke dị iche, na-enye nsonaazụ nha ziri ezi na nke a pụrụ ịtụkwasị obi.
2. Nkọwapụta Nano-Grade nke Ụlọ Ọrụ Na-eduga, Data Ogologo Oge A Na-achọpụta na nke Na-adịgide adịgide
- Sistemụ a na-eji isi iyi ọkụ ọcha LED nwere ogologo ebili mmiri etiti na 550 nm, nke nwere paramita arụmọrụ kachasị elu nke kwekọrọ na ọkọlọtọ adịchaghị elu zuru ụwa ọnụ.
-Mkpebi kwụ ọtọ: ＜1 nm, njehie nha ugboro ugboro: ＜10 nm, ezigbo nkenke nanometer
- Oke nha nha kwụ ọtọ kachasị elu: 500 μm, ọ dịghị mkpa ịgbanwe ọnọdụ ọzọ maka obere ihe owuwu dị elu.
-Ọsọ nyocha: 100 μm/s, otu nyocha zuru oke emechara n'ime sekọnd iri, na-ahazi nhazi ziri ezi na mmepụta nyocha.
-Na-agbaso ụkpụrụ NIST a na-achọpụta, algọridim nhazi akpaka arụnyere n'ime ya na-eme ka data ogbe a na-achọpụta mgbe niile, na-emezu ụkpụrụ QC siri ike maka ụlọ ọrụ semiconductor na optical.
| ihe | Paramita |
| Ike Ịtụle | Ọdịdị elu 3D, oke iru ala, ịdị elu nzọụkwụ na ọkpụrụkpụ ihe nkiri nke ihe na-egosipụta ihe na ihe ndị dị na anya |
| Ụdị Nnweta Data | Interferometry Nyocha Vertical (VSI) + Interferometry Mgbanwe-Usoro (PSI) |
| Sistemụ Nhazi | NIST ọkọlọtọ a na-achọpụta + algọridim nhazi akpaka |
| Oke Nha Okirikiri | 500 μm |
| Ubi Echiche | 20× ihe mgbaru ọsọ: 0.87 × 0.65 mm |
| Arụmọrụ igwefoto | Mkpebi Kachasị: 2048×2448; Ọkwa Frame: 74 Fps; Omimi Bit: 12 bit |
| Ọsọ Nnyocha | 100 μm/s (Ụdị nkenke) |
| Nhọrọ Lens Ebumnuche | Ebumnuche mmụba 20x / 50x enwere ike ịhazi |
| Nhazi Nwụnye | Ikpo okwu mwepụ nke vibration arụ ọrụ n'ime ya, ntinye kwụ ọtọ na kwụ ọtọ dị |
| Nha N'ozuzu (L×W×H) | 120 × 80 × 65 cm |
| Nha ịbụ | ≤58 n'arọ |
3. Nhazi Kabinet Integrated Industrial, Dakọtara na Lab & Production Line
Emebere ya nke ọma maka ma ụlọ ọrụ mmepụta ihe buru ibu na ụlọ nyocha sayensị yana ndakọrịta nrụnye dị mfe.
Ikpo okwu mwepụta mkpọtụ arụrụ arụ n'ime: Nha kwụsiri ike n'okpuru mkpọtụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe, enweghị tebụl mwepụ mkpọtụ ọzọ achọrọ.
Nhazi nrụnye abụọ: Ntọala kwụ ọtọ ma ọ bụ kwụ ọtọ, njikọta dị mfe na ahịrị mmepụta akpaaka na ebe ọrụ ụlọ nyocha.
Ahụ dị obere nke nwere nha 120×80×65 cm, ịdị arọ ≤58 kg, ebe a na-etinye ya n'ebe ahụ dị mfe.
Sistemụ ahụ zuru oke na-ejikọta isi iyi ọkụ, isi ihe interferometer na modulu njikwa. Plọg-na-egwu mgbe emechara ihe ndị a, ọ dịghị mkpa ịgbanwe ụzọ anya dị mgbagwoju anya.
Mkpuchi Ngwa zuru oke maka Mmepụta Ihe Dị Elu
Ụlọ ọrụ Semiconductor: Nhazi 3D na nyocha elu nzọụkwụ nke wafer silicon na obere nano chips.
Optics Precision: Nnwale siri ike na ọkpụrụkpụ ihe nkiri maka anya anya, ebumnuche na ihe anya a kpuchiri ekpuchi.
Mkpuchi Ọrụ Ọhụrụ: Nnyocha profaịlụ elu na ọkpụrụkpụ nke mkpuchi na-egosipụta ihe na ihe nkiri dị gịrịgịrị na-arụ ọrụ.
Ụlọ Nyocha Sayensị: Nnwale nhazi Micro-nano na nhazi nke akụkụ ziri ezi.
Site na ahụmịhe ọkachamara na R&D optical ruo ọtụtụ afọ, Wavelength OE na-emepụta ụzọ anya niile dị mkpa na algọridim nha maka ndị na-eji ọkụ ọcha eme ihe. Njikwa teknụzụ zuru oke site na isi mmalite ọkụ, lensị anya ebumnuche ruo na sistemụ nhazi. Ngalaba ọ bụla na-eme nhazi ziri ezi nke ọtụtụ gburugburu tupu nnyefe. Anyị na-enye nkwado teknụzụ zuru oke mgbe erechara ahịa ma hazie ngwọta nha pụrụ iche dabere na nha ọrụ ndị ahịa na ihe achọrọ maka ahịrị mmepụta akpaka.
Oge ozi: Julaị-15-2026