A na-ejikarị anya F-Theta eme ihe na enyo nyocha galvanometer na laser e ji ese ihe, ịkpụ, na akara. A na-edebekarị mgbanwe F-Theta nke anya ahụ ihe na-erughị 1% ka o wee nwee ike ịmepụta ebe ziri ezi n'ọhịa dị larịị na mbara onyonyo ahụ.
Nnwale Dayameta: +0/-0.13mm
Ntachi Obi: ±0.25mm
Ogologo Nlebara Anya: ±2%
Mgbanwe ọkpụrụkpụ nke akụkụ (ETV): ≤3 arc min.
Oghere doro anya: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Ogo Elu: 40-20 SD
Mkpuchi AR: R<0.2% kwa elu @10.6μ